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PRODUCT FEATURES
产品特点
低复合率腔体表面膜层工艺
通过低复合率腔体表面膜层工艺,可以实现高深宽 比沟槽的高质量填充
高度集成,可视化程度高
产品结构高度集成,关键参数可视化程度高,可根据客户工艺需求进行灵活定制与功能组合
应用工艺
主要应用工艺:清洗、薄膜沉积