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PRODUCT FEATURES
产品特点
自主均流结构
基于变压器耦合的模块并联自主均流结构,处理气体流量最大可达22SLM
高解离率
高解离率,有效提高工艺效率
性能稳定
先进腔体表面膜层处理工艺,确保腔体长时间稳定运行
应用工艺
主要应用工艺:清洗